氮化硅

氮化硅分子式为Ｓi3Ｎ4，是一种重要的结构陶瓷材料。

它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损；

除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，抗腐蚀能力强，高温时抗氧化。

而且它还能抵抗冷冲击，加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。

涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，

涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后终保证硅碇脱膜完整性。

技术指标

Items Value Items Value

Spefice Surface Area(m2/g) 9.8-13 Green Density(g/cm3) 1.7-1.9

N(wt%) >38.0 Fe(wt%) <0.008

O(wt%) <1.5 Ca(wt%) <0.01

C(wt%) <0.2 Al(wt%) <0.08

Na(wt%) <0.001 Ni(wt%) <0.001

Mo(wt%) <0.001 Mg(wt%) <0.001

Cr(wt%) <0.001 Co(wt%) <0.001

K(wt%) <0.001 Mn(wt%) <0.001

Partical Size(lazer)D90(μm) 1.1-1.5 Partical Size(lazer)D50(μm) 0.5-0.7

Partical Size(lazer)D10(μm) 0.2-0.4

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