实现洁净度要求的通风措施

洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施 [1] ：

（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用或亚过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

（3） 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。

（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。

洁净室气流组织考虑原则

（1） 当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。

（2） 减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。

（3） 为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。

（4） 工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。

（5） 工作设备布置时要留有一定的间隔，为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。

（6） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。

（7） 洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。 [2]

洁净室服装包括靴子，鞋子，围裙，胡须套，蓬松帽，工作服，面罩，连衣裙/实验室外套，礼服，手套和手指套，发网，头套，袖子和鞋套。使用的洁净室服装类型应反映洁净室和产品规格。低级洁净室可能只需要特殊的鞋子，鞋底完全光滑，不会跟踪灰尘或污垢。但是，鞋底不得产生滑倒危险，因为总是优先考虑。进入洁净室通常需要洁净室服。10,000级洁净室可以使用简单的罩衫，头套和短靴。对于10级洁净室，需要小心的长袍穿着程序，并配有拉链盖，靴子，手套和完整的呼吸器外壳。

洁净室空气流量原理

洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站（LF罩）中说明，并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是强制性的。

适当的洁净室设计包括整个空气分配系统，包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中，这意味着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中，它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统设计相矛盾。