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油扩散泵用硅油

HIVAC F-4, HIVAC F-5

真空装置的使用范围随着各种技术开发而急速扩大。

例如，电子或金属加工行业中的半导体元件、各种集成电路、真空管类、电子部件的制造装置、金属、合金类的溶解、加工烧结装置、塑料或镀金行业中的真空蒙着装置等的发展十分显著，几乎可以得到高真空度是对这些装置施加的条件。

一般为了稳定高真空，使用油扩散泵。扩散泵（装置）的性能随着真空装置业界技术的进步，田一十To“以上超真空装置的制造也比较容易。因此，可以说油扩散泵的性能受使用的油的影响很大。

这些是因为油扩散泵的运行温度在200℃左右，容易引起热裂纹，在加热的状态下打破真空的话，氧化急速前进，油变质，生成分解气体的同时，焦油附着在喷嘴上。

另外，容易受到吸引气体的影响，有促进分解等构造上的缺点。

作为扩散泵油的基本性质，要求如下。

1 ）真空特性、稳定性

a）分子量200~300

b）室温下蒸汽压力低

c）非易失性

d）耐热、耐酸化性强

2 ）使用方便

e）凝固点低

f）即使在低温下粘度也不太高

g）无腐蚀性

h）性

现在，作为油扩散泵油，大量使用石油系和脂肪酸。

1蒸发潜热是根据蒸汽压力曲线使用Clusius-C1apperon公式计算的值。

HIVACF-4在200℃附近，HIVACF-5根据250℃附近的数据计算。

2 HIVACF-4可能在0℃附近结晶。这种情况下，加热工作液溶解后可以再次使用。性能上不允许有差异。

HIVACF-4HIVACF-5因为是耐热性的硅酮油，所以耐热性高，耐酸化性好，化学性稳定，几乎不受吸引气体的影响等，兼备扩散泵油所需的性质

HIVACF-4、F-5的耐热性和抗氧化性都很好。因此，长时间高温曝晒也很稳定，不会发生粘度变化

1 蒸发潜热是根据蒸汽压力曲线使用Clusius-C1apperon公式计算的值。

HIVACF-4在200℃附近，HIVACF-5根据250℃附近的数据计算。

2 HIVACF-4可能在0℃附近结晶。这种情况下，加热工作液溶解后可以再次使用。

性能上不允许有差异。

3 硅油的抗辐射性

硅酮油的抗辐射性比二甲基硅酮油更，苯基的含量越多，其稳定性就越大。

HIVACF-4、F-5因为含有大量的苯基，所以具有的耐辐射性。

使用油扩散泵制作超高真空时

使用扩散泵，在室温下与扩散泵油的蒸汽压力相当的10-8~10。为了得到Torr的超真空，扩散泵油的性能是**的原因。

但是，仅仅这样还不能说足够。

一般来说，扩散泵的到达压力由以下公式表示。

P=Po十Eq/S

P：到达压力

PO・扩散泵油蒸气的分压

2千·燃气源合计

S・扩散泵的排气速度

・关于扩散泵油

扩散泵油的分压本来应该是扩散泵油的蒸汽压力，但是也有以低沸杂质、热分解物为主的情况。希望扩散泵油的纯度高，耐热性好。

据说工作初期扩散泵油的逆流特别多。另外，真空系统内壁吸附的气体、扩散泵等会对到达压力产生恶劣影响。

因此，通过加热除去这些气体是有效的。

另外，作为泵主体真空系统的内壁、密封垫等也需要预先充分清洗。另外，qi有以下几种。

a）气体的反扩散

b）从泵内壁、构成部件等排出的气体

c）通过容器壁、垫圈的气体透过及泄露

因此，为了改善到达压力，*好将PO+q/S减到*少。

使用一般扩散泵的排气装置在这一点上采取了各种各样的对策，这里表示实际处理扩散泵时的问题。

・关于泄露

泄露会对到达压力产生不良影响。发现泄露需要相当的熟练。

特别是金属草图的话，需要小心。另外，如果是有机橡胶系的草图，由于气体透过而导致的漏气也有可能无法忽视，请充分注意。